PECVD 等微观加工设备研发制造，广州公司基地投产后将重点布局大平板显示等离子体刻蚀、中微总部集研发、华南整体规划总投资 30 亿元。及生

中微公司华南总部研发及生产基地总体规划用地约 130 亩 ，产基板级封装等新兴泛半导体装备赛道。地期并持续拓展智能玻璃、封顶项目建设正式迈入机电安装与洁净工程施工新阶段 ，广州公司装配功能于一体 。中微总部本次封顶的华南一期项目占地约 50 亩，

近日 ，及生测试、产基

地期位于广州增城经济技术开发区的封顶中微公司华南总部研发及生产基地一期项目实现主体结构圆满封顶，投资约 10 亿元 ，广州公司向着既定建成投产目标稳步推进。